Tag nrho cov system yog qhov tseem ceeb ntawm cov roj dynamic tshuav nyiaj li cas.
Ntawm no: theem nqus tsev vacuum tsuas yog tshwm sim,
thaum lub twj tso kua mis ceev txiav txim siab: lub cev muaj peev xwm los daws cov kev hloov roj no.
Cov neeg ua haujlwm hauv PVD yuav luag txhua zaus them nyiaj tshwj xeeb rau ib tus lej: qib nqus.
Cov khoom siv puas tuaj yeem ua tiav:
10⁻³ Pa 10⁻⁴ Pa Lower qhov kawg nqus tsev vacuum? Feem ntau, tib neeg xav tias:
qhov siab dua lub tshuab nqus tsev, cov txheej txheem ruaj khov dua.
Txawm li cas los xij, tom qab ua haujlwm nyob rau hauv lub sijhawm ntev, koj yuav pom qhov tshwm sim tsis zoo:
Qee cov cuab yeej muaj lub tshuab nqus tsev zoo tshaj plaws thiab kev nyeem ntawv siab ruaj khov, tab sis hauv kev tsim khoom tiag tiag, cov teeb meem xws li kev hloov pauv ntawm cov pa tawm, kev ua yeeb yaj kiab bleaching, cov ntsiab lus tsis zoo ntawm cov pa oxygen, thiab maj mam txo cov txiaj ntsig tseem tshwm sim. Hloov pauv, qee cov khoom siv yuav tsis muaj qhov tshwj xeeb ntawm lub tshuab nqus tsev, tab sis nws cov txheej txheem tseem nyob ruaj khov.
Qhov teeb meem feem ntau tsis yog:
"Lub tshuab nqus tsev puas tsawg txaus?"
Tab sis theej: Cov roj tuaj yeem raug tshem tawm hauv lub sijhawm?
Qhov tseem ceeb hauv qab no yog qhov tseeb: lub twj tso kua mis ceev.
Ntau tus neeg nkag siab txog lub tshuab nqus tsev yog txwv rau:
"Puas muaj roj ntau npaum li cas hauv cov kab noj hniav?"
Txawm li cas los xij, PVD ntau lawm tsis yog txheej txheem zoo li qub.
Thaum lub sij hawm txheej txheej, cov txheej txheem hauv qab no tas li tshwm sim hauv qhov system:
Workpiece venting; kab noj hniav; lub hom phiaj cov khoom tso tawm adsorbed gas; txheej txheem roj tsis tu ncua nkag.
Tag nrho cov system yog qhov tseem ceeb ntawm cov roj dynamic tshuav nyiaj li cas.
Ntawm no: theem nqus tsev vacuum tsuas yog tshwm sim,
thaum lub twj tso kua mis ceev txiav txim siab: lub cev muaj peev xwm los daws cov kev hloov roj no.
Vim li cas cov khaubncaws sab nraud povtseg txawv kiag li nyob rau hauv tib lub siab?
Qhov no yog ib qho nyuaj tshaj plaws kom nkag siab hauv ntau qhov chaw ua haujlwm.
Piv txwv li: ob qho khoom siv tau pom 0.5 Pa, thiab qhov ntsuas tau zoo sib xws. Qhov tshwm sim: Ib lub cuab yeej tsim cov yeeb yaj kiab ruaj khov, thaum lwm qhov tau ntsib teeb meem tas li.
Yog vim li cas:
Lub ntsuas ntsuas siab tsuas tuaj yeem qhia koj:
"Lub siab tag nrho yog dab tsi?"
Tab sis nws yuav tsis qhia koj:
Cov pa roj zoo li cas hauv? Muaj dej vapor ntau npaum li cas? Cov pa oxygen ntau npaum li cas? Puas muaj cov pa paug hauv qee qhov chaw?
Uas yog hais tias:
Ob lub tshuab nrog tib lub siab tuaj yeem muaj qhov sib txawv hauv ib puag ncig.
Lub extraction ceev yeej cuam tshuam rau peb yam no:
1. Txawm tias muaj kuab paug tuaj yeem raug tshem tawm raws sijhawm.
Feem ntau cov teeb meem membrane tsis yog vim:
"Sudden contamination."
Tab sis qhov yog vim: Cov kab mob kis tau maj mam sib sau ua ke.
Piv txwv li: Dej vapor, Volatile organic compounds, Residual oxygen
Yog tias qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis tsis txaus: cov pa roj no yuav nyob hauv cov kab noj hniav ntev ntev.
Qhov no thaum kawg ua rau: nce tsis ruaj khov, nce oxygen cov ntsiab lus hauv txheej zaj duab xis, thiab txo adhesion. Ntau tus neeg pom:
"Cov kev ntsuas tsis tau hloov pauv, tab sis cov txiaj ntsig tau ua phem dua."
Hauv kev muaj tiag: Cov kab noj hniav ib puag ncig tau maj mam hloov.
2. Puas yuav reactive gases nyob hauv zos?
Qhov teeb meem no tshwj xeeb tshaj yog pom nyob rau hauv reactive sputtering.
Piv txwv li, thaum tsim oxide films:
Yog tias lub twj tso kua mis tsis txaus,
koj yuav pom tias:
lub hom phiaj yog heev yooj yim mus rau lom.
Ntau tus neeg thawj cov tshuaj tiv thaiv yog:
Cov pa oxygen txaus siab dhau lawm.
Tab sis qhov tseeb yuav yog:
Cov pa oxygen tsis tau nqa mus rau lub sijhawm.
Nws tseem nyob hauv cheeb tsam pem hauv ntej ntawm lub hom phiaj.
Cov pa oxygen hauv zos nce ntxiv.
Thaum kawg:
Lub hom phiaj nto ua tiav tsis sib npaug.
3. Puas yog qhov chaw paug tawm ruaj khov?
Muaj coob tus neeg saib ib qho taw tes:
Plasma yog qhov tseeb heev rau ib puag ncig.
yog:
Cov roj residual hloov tas li, cov dej vapor concentration fluctuates, thiab chamber cua tsis ruaj khov.
Lub xeev tso tawm yuav maj mam drift.
Nws manifests nws tus kheej li:
Voltage pib hloov, ignition nce, txheej txheem qhov rais tau nqaim thiab nqaim
Vim li cas cov chav loj loj muaj teeb meem ntau dua?
Ntau cov khoom loj loj ntsib qhov xwm txheej uas: lub tshuab nqus tsev yog qhov zoo,
tab sis cov txheej txheem tsis ruaj khov.
Yog vim li cas yog: Qhov kev sib tw loj tshaj plaws nrog cov chav loj tsis yog "ua tiav lub tshuab nqus tsev qis."
Nws yog: tswj lub tshuab nqus tsev zoo ib yam thoob plaws lub chamber.
Vim nrog lub chamber loj: Gas turnover lub sij hawm ntev dua; thaj chaw tuag muaj ntau dua; thiab localized stagnation yog ntau pronounced.
Qee lub sij hawm: Qhov ntsuas qhov ntsuas qhov siab yog qhov ruaj khov, tab sis cov cua hauv qee qhov chaw sib txawv kiag li.
Ib qho yooj yim pitfall rau poob rau hauv: kho dua tshiab lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis.
Ntau tus neeg, thaum ntsib teeb meem, yuav tam sim ntawd:
Hloov nrog lub twj tso kua mis loj dua
Ua kom lub tshuab nqus tsev qhov kawg
Tab sis thaum kawg pom:
Cov nyhuv tsis tseem ceeb.
Vim tias dab tsi tiag tiag txiav txim siab qhov kev siv tau zoo tsis yog lub twj tso kua mis xwb.
Yuav ua li cas paub txog engineers saib lub tshuab nqus tsev li cas?
Lawv lub hom phiaj tsis yog lawm rau:
"Qhov tsawg kawg ntawm kev khiav tawm qhov tob."
Hloov chaw, lawv tsom mus rau:
"Qhov kev sib pauv roj ceev npaum li cas? Cov kab mob puas tuaj yeem raug tshem tawm sai sai? Puas yog lub chamber ib puag ncig tsis tu ncua? Puas yog cov khoom paug tawm ruaj khov rau lub sijhawm ntev?"
Vim tias lub tshuab nqus tsev PVD, hauv qhov tseem ceeb, tsis yog:
"Tshem tawm tag nrho cov huab cua."
Nws yog hais txog:
"Nruam tswj kev ruaj khov, tswj tau, thiab hloov mus tas li ib puag ncig."
